本報(bào)記者 宋智輝
隨著湖南長沙惠科超高純氣體供應(yīng)項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試指揮部傳來一個(gè)簡單的數(shù)據(jù)——1ppb（即十億分之一的雜質(zhì)含量，目前國內(nèi)最高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)），遠(yuǎn)在廣東廣州的廣鋼氣體遠(yuǎn)程數(shù)字化中心沸騰了。所有人都在密切地關(guān)注著調(diào)試過程，每一個(gè)參數(shù)的跳動(dòng)都牽動(dòng)著大家的心跳。這是廣鋼氣體自主研發(fā)的Super-N系列超高純制氮系統(tǒng)優(yōu)化后取得的巨大進(jìn)步，也是該專利產(chǎn)品被投入商業(yè)化實(shí)踐后，助力攻克電子氣體“卡脖子”技術(shù)取得的重大突破。
滿足國內(nèi)最高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)
打響本土氣體品牌
作為國內(nèi)第一家具有超高純電子大宗氣體供應(yīng)服務(wù)能力的氣體企業(yè)，廣鋼氣體繼2018年打破外資壟斷、成功中標(biāo)安徽滁州惠科公司（簡稱“惠科公司”）超高純氣體項(xiàng)目后，持續(xù)發(fā)力改進(jìn)技術(shù)與設(shè)備。2020年，該公司在電子氣體業(yè)務(wù)板塊再開新局，成功拿下長沙惠科超高純大宗氣站供應(yīng)項(xiàng)目。
作為惠科公司在全國布局的第4個(gè)生產(chǎn)基地，該項(xiàng)目是湖南長沙瀏陽經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)建設(shè)大尺寸超高清顯示屏及OLED顯示屏生產(chǎn)線的重要供氣配套設(shè)備，總投資額為320億元。其建成后可為長沙惠科提供ppb級(jí)的超高純氣體，并確保其可供性達(dá)到100%。該項(xiàng)目在今年3月31日進(jìn)入調(diào)試收尾階段，制氮機(jī)氮?dú)猱a(chǎn)量達(dá)13400立方米/小時(shí)，產(chǎn)品純度達(dá)1ppb，比起初合同約定的供氣時(shí)間整整提前了1個(gè)月。
填補(bǔ)國內(nèi)技術(shù)空白
提供“中國芯”保障
高純氮?dú)馐请娮有袠I(yè)不可缺少的基礎(chǔ)性原材料，可用于制造超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料等。
廣鋼氣體Super-N系列超高純制氮系統(tǒng)，是國內(nèi)首套具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超高純氣體制取系統(tǒng)，創(chuàng)造了國內(nèi)超高純后備系統(tǒng)供氣的最短用時(shí)紀(jì)錄。該系統(tǒng)在2019年成功投產(chǎn)，并于2021年初獲得國家頒發(fā)的發(fā)明專利證書。經(jīng)優(yōu)化設(shè)計(jì)后，該系統(tǒng)在長沙惠科超高純氣體供應(yīng)項(xiàng)目再次成功實(shí)踐，填補(bǔ)了國內(nèi)制氮裝置出冷箱雜質(zhì)1ppb的空白，滿足了目前國內(nèi)芯片項(xiàng)目對(duì)制氮裝置出冷箱產(chǎn)品最嚴(yán)格的純度要求，是廣鋼氣體發(fā)展歷程中里程碑式的技術(shù)進(jìn)階，為進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)“廣鋼氣體制造中國芯”的目標(biāo)提供了硬件保障。
打破外資制約
攻克行業(yè)“卡脖子”難題
2021年3月份，工信部等多個(gè)部委召開工業(yè)氣體“卡脖子”技術(shù)問題協(xié)調(diào)工作會(huì)議，協(xié)調(diào)推進(jìn)解決制約行業(yè)發(fā)展的“卡脖子”技術(shù)問題，并指出當(dāng)前電子氣體市場(chǎng)受制于外資品牌的發(fā)展困境。
廣鋼氣體積極打破行業(yè)壁壘，在與一眾外資巨頭的競(jìng)爭(zhēng)中培育出內(nèi)資氣體品牌的發(fā)展優(yōu)勢(shì)。近幾年，其發(fā)展勢(shì)頭更加強(qiáng)勁，其中電子氣體業(yè)務(wù)發(fā)展迅猛，在平板顯示、芯片等半導(dǎo)體領(lǐng)域均取得了亮眼的成績，頻頻獲得業(yè)內(nèi)的關(guān)注與認(rèn)可。目前，廣鋼氣體已分別在深圳、滁州建設(shè)了3套國內(nèi)領(lǐng)先的ppb級(jí)超高純氮?dú)饪辗盅b置，及ppb級(jí)大宗氣體純化系統(tǒng)，形成了強(qiáng)有力的技術(shù)堡壘。下一步，廣鋼氣體將充分整合廣州工控資源條件，打造差異化競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，助力解決電子氣體“卡脖子”技術(shù)難題，打破半導(dǎo)體高端領(lǐng)域氣體材料的進(jìn)口制約，集中力量賦能“中國芯”。
《中國冶金報(bào)》（2021年5月12日 08版八版）
